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導入事例:半導体製造装置制御システム



    • 画像処理、複数軸モーター制御、HMI機能
    • 国内○○○○へ導入
  • 利用ソリューション:
    • INtime
    • ACTIVE TOUCH
  • Before
    ↓
    After
  • *システムの概要・問題
    画像処理・複数軸のモーター制御・HMI機能を備えた、半導体製造装置制御向けの汎用ベースシステムです。
    パフォーマンスが限界
    メインコントローラとなるPLCやマイコンは、各制御装置とシリアル通信やEthernet通信で接続しており、全体としての処理速度が遅く通信障害も多く発生する。
    ハードウェアコストが下げられない
    各機能ごとに専用の制御装置が必要なため、メンテナンスを含めてハードウェアコストが多くかかる。
    機能が限定される・拡張が困難
    例えば、音声再生機能を追加する場合、さらに専用機器を追加しなければならない。機器ごとに専用のドライバの開発も必要となるため工期も必要となる。
  • *提案内容・導入効果
    メインコントローラを『工業用PC+INtime』へ
    メインコントローラとして、高速なCPUを搭載した工業用PCを採用することで、PLCやマイコンと比較して処理能力が格段に向上。また、INtimeを導入することでリアルタイム制御を行いながらWindows標準機能の音声再生やネットワーク共有等を利用可能。
    各種制御装置を『汎用拡張ボード』へ
    メインコントローラに汎用拡張ボードを組込むことで、モータ制御や画像処理を集約可能。これまで必要だった専用装置の配置スペースが不要となり、装置の小型化・軽量化および大幅なコスト削減に貢献。
    プログラマブル表示器を『ACTIVE TOUCH』へ
    市販の安価なタッチパネルや液晶ディスプレイを利用可能。データ通信には共有メモリを使うため処理速度が高速化される。
  • *導入後のソフトウェア構造
    • ソフトウェア構成
    • ①ユーザーI/F部から汎用制御部に対しての処理要求、応答(情報)等
      ②汎用制御部から画像処理部に対しての処理要求と処理結果の応答
      ③汎用制御部からモーター制御部に対しての画像処理結果を元にしたモーター出力要求